Az Allectra zafír (sapphire) betekintő ablakai (viewport) 15 és 49mm között méretben érhetők el, így szűk és széles látómezőt is biztosíthatnak a nagy hőmérsékletű folyamatkamrák belsejébe. Mindegyik rendelkezhet DUV-minősítéssel a jelenleg elérhető legszélesebb transzmisszió érdekében.
A zafír az egyik legkeményebb optikai anyag, amelyet mérnöki alkalmazásokban használnak. Ez egy átlátszó, egykristályos alumínium-oxid (Al2O3), amely gyakorlatilag minden más HV/UHV környezetben használt ablakanyaghoz képest kiválóbb termomechanikai tulajdonságokkal rendelkezik.
A zafír betekintő ablakok alkalmasak magas hőmérsékletű vákuummal dolgozó berendezésekhez, például fizikai gőzfázisú leválasztáshoz (PVD) is. Az üveglap megbízhatóan elviseli a 400°C körüli folyamatos üzemi hőmérsékletet, bár ez a határ jellemzően a kamra felépítése által szabott korlát. Maga a zafír akár 1800°C-os folyamatos hőmérsékletet is kibír.
Azonban számos más, betekintő ablakhoz használt anyag is képes hasonlóan nagy nyomás alatti és magas hőkezeléssel működő berendezésekben működni. A betekintő ablakok elsődleges előnye más ablaktípusokkal szemben az anyag kiváló optikai áteresztőképessége. A zafír betekintő ablakok rendkívül átlátszóak a 150-5500 nanométer közötti hullámhosszúságú fényre, amely az ultraibolya (UV), illetve a látható spektrum nagy részét lefedi, és kiválóan kiterjed a közeli infravörös (IR) tartományba is. Ez biztosítja a HV/UHV környezet optimális láthatóságát további felületi bevonatok nélkül.
A kiváló áteresztőképességhez hozzájárulnak továbbá a zafír kivételes mechanikai tulajdonságai, mivel a rossz felület kikészítés jelentősen befolyásolhatja a hullámhossz terjedést, különösen a rövid hullámhosszú sugárzás esetében. A zafír a harmadik legkeményebb műszaki anyag a Földön, ami kivételes kopás- és karcállóságot biztosít. Ennek eredményeképpen a zafírból készült betekintő ablakok hosszú ideig megőrzik a beszerelés állapotában fennálló transzmissziós tulajdonságaikat mostoha körülmények között is.
(Forrás: Allectra LinkedIn)
